| 主权项 |
1.一种表面波感测装置,其特征在于具备: 底部基板,其含有相互对向之第1、第2主面; 第1通孔导体,其设置为自上述底部基板之第1主面 贯通至第2主面; 端子电极,其设置为于上述底部基板之第2主面上 电性连接于上述第1通孔导体; 热压着性各向异性导电片,其配置为于上述底部基 板之第1主面上电性连接于上述通孔导体之端部; 及 弹性表面波元件,其藉由上述热压着性各向异性导 电片而接着于上述底部基板; 上述弹性表面波元件具备:压电基板,其含有相互 对向之第1、第2主面;至少一个叉指转换器(IDT),其 形成于压电基板之第1主面上;绝缘保护膜,其设置 为被覆该叉指转换器;及第2通孔导体,其设置为电 性连接于上述叉指转换器,且自上述压电基板之第 1主面及于第2主面; 并以第2通孔导体藉由上述热压着性各向异性导电 片而电性连接于上述底部基板之第1通孔导体,且 上述第1、第2通孔导体隔着热压着性各向异性导 电片而相互重叠之方式配置。 2.一种表面波感测装置,其特征在于具备: 底部基板,其含有相互对向之第1、第2主面; 端子电极,其设于上述底部基板之第1主面上; 热压着性各向异性导电片,其配置为于上述底部基 板之第1主面上电性连接于上述端子电极;及 弹性表面波元件,其藉由上述热压着性各向异性导 电片而接着于上述底部基板上; 上述弹性表面波元件具备:压电基板,其含有相互 对向之第1、第2主面;至少一个叉指转换器,其形成 于压电基板之第1主面上;绝缘性保护膜,其设置为 被覆该叉指转换器;及通孔导体,其设置为电性连 接于上述叉指转换器,且自上述压电基板之第1面 及于第2面; 并以上述通孔导体藉由上述热压着性各向异性导 电片而电性连接于上述底部基板之上述端子电极, 且上述通孔导体与端子电极隔着热压着性各向异 性导电片而相互重叠之方式配置。 3.如请求项1之表面波感测装置,其中于上述底部基 板之第1主面上进而具备以至少排除安装上述弹性 表面波元件之区域之方式设于上述底部基板之第1 主面上之绝缘性材料构件。 4.如请求项2之表面波感测装置,其中于上述底部基 板之第1主面上进而具备以至少排除安装上述弹性 表面波元件之区域之方式设于上述底部基板之第1 主面上之绝缘性材料构件。 5.如请求项1至4中任一项之表面波感测装置,其中 上述弹性表面波元件进而具备检测膜,该检测膜系 与特定物质反应而使质量增加,并将与该质量增加 部分相应之负载施加于上述压电基板上。 6.如请求项5之表面波感测装置,其中上述绝缘性保 护膜兼作上述检测膜。 7.如请求项5之表面波感测装置,其中于上述绝缘性 保护膜上层积有上述检测膜。 8.如请求项5之表面波感测装置,其中于一个底部基 板上安装有复数个上述弹性表面波元件; 于复数个弹性表面波元件中至少一个弹性表面波 元件设有上述检测膜,剩余之弹性表面波元件中至 少一个弹性表面波元件不含有上述检测膜。 9.如请求项5之表面波感测装置,其中于一个底部基 板上安装有复数个上述弹性表面波元件,而复数个 弹性表面波元件分别含有上述检测膜,并且至少一 个弹性表面波元件之检测膜系对与其他弹性表面 波元件之检测膜不同之物质产生反应之检测膜。 10.如请求项5之表面波感测装置,其中上述检测膜 系藉由生化反应与生化物质反应而使质量增加之 检测膜,并藉此构成生物感测器。 11.如请求项10之表面波感测装置,其中于上述检测 膜上使抗原或抗体固定化,上述生化物质系抗体或 抗原,上述生化反应系免疫反应。 图式简单说明: 图1(a)以及(b)系本发明第1实施形态之表面波感测 装置之正面剖面图以及表示使用有该表面波感测 装置之弹性表面波元件之电性结构的模式性平面 图。 图2系用以说明图1所示之表面波感测装置之制造 工序之正面剖面图。 图3系表示使用有图1所示之表面波感测装置之测 量工序之一例示的正面剖面图。 图4系表示使用有图1所示之表面波感测装置之测 量工序之其他例示的正面剖面图。 图5系用以说明图1所示之实施形态之表面波感测 装置之变形例的局部切除正面剖面图。 图6系用以说明图1所示之实施形态之表面波感测 装置之其他变形例之局部切除正面剖面图。 图7系用以说明图1所示之表面波感测装置之进一 步其他变形例之表面剖面图。 图8系本发明第2实施形态之表面波感测装置之正 面剖面图。 图9系用以说明先前浸沈物质检测感测器之概略结 构图。 图10系表示先前弹性表面波装置之一例示的正面 剖面图。 图11系表示先前弹性表面波装置之其他例示的正 面剖面图。 |
