半导体制造用电浆遮蔽盘

摘要

【物品用途】本创作的物品系半导体制造用电浆遮蔽盘，通常设置于半导体制造用的处理室，遮蔽照射晶圆之电浆(微波)的一部份，而用以谋求形成于晶圆之膜厚的均匀化者。【创作特点】从各视图观之，主要特征为：本物品为扁薄圆盘形体，其内部中间之五个环状部与外周宽扁之环形体，系利用两根垂直交叉之细管形体相连接，该内部五个环状部之中心环与外圈环，为反应气体喷出用之环状部(管部)，且于该中心环之正面及外圈环背面，并分别开设数个细小圆形气体喷出孔，而其他环部则为遮蔽用；使用时，将本物品安置于半导体制造用的处理室，遮蔽照射晶圆之电浆(微波)的一部份，以谋求形成晶圆之膜厚均匀化；该整体造型新颖的设计，为本物品之创作特点。

主权项

1.仰视图与俯视图对称。 2.左侧视图与右侧视图对称。