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发明名称 OPTICAL MEASUREMENTS OF ARTICLES WITH PERIODIC PATTERNS
摘要
申请公布号 IL162199(A) 申请公布日期 2008.04.13
申请号 IL20040162199 申请日期 2004.05.27
申请人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. 发明人
分类号 G01B;G01N21/88;G01N21/956 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
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