| 主权项 |
1.一种水相硷性光阻清洗组合物,其包含,以组合物 总重量计: (a)10至50重量%之至少一种硷性化合物; (b)1至10重量%之至少一种二胺类化合物;及 (c)40至89重量%之水, 其中该组合物之pH値大于13。 2.如请求项1之组合物,其中该硷性化合物系无机硷 。 3.如请求项2之组合物,其中该无机硷系硷金属类氢 氧化物。 4.如请求项3之组合物,其中该硷金属类氢氧化物系 氢氧化钠或氢氧化钾。 5.如请求项1之组合物,其中该硷性化合物系有机硷 。 6.如请求项5之组合物,其中该有机硷系具有如下式 之氢氧化四级铵类化合物 其中R1、R2、R3及R4可为相同或相异,分别独立为具 有1至6个碳之烷基或羟烷基。 7.如请求项6之组合物,其中该氢氧化四级铵类化合 物系氢氧化四甲基铵。 8.如请求项1之组合物,其中该二胺类化合物系选自 由乙二胺、丙二胺、丁二胺、戊二胺、己二胺、 苯二胺、二乙二胺、三乙二胺及四乙二胺所组成 之群。 9.如请求项1之组合物,其中该硷性化合物的用量为 20至50重量%;该二胺类化合物的用量为1至5重量%;而 水的用量为45至79重量%。 10.如请求项1之组合物,其进一步包含以组合物总 重量计,0.01至3重量%之可使清洗组合物表面张力小 于40 mN/m之至少一种界面活性剂。 11.如请求项10项之组合物,其中该界面活性剂系阴 离子型界面活性剂。 12.如请求项10项之组合物,其中该界面活性剂系阳 离子型界面活性剂。 13.如请求项10项之组合物,其中该界面活性剂系非 离子型界面活性剂。 14.如请求项1之组合物,其中该光阻为用于液晶显 示器之彩色滤光片上之彩色光阻。 15.一种制造用于液晶显示器之彩色滤光片之方法, 其包含藉由将玻璃基板上之彩色光阻膜与如请求 项1至14中任一项之水相硷性光阻清洗组合物接触, 以移除该彩色光阻膜之步骤。 16.一种清洗彩色光阻涂布设备上及显影液管路间 之彩色光阻残留物之方法,其包括使该彩色光阻涂 布设备及显影液管路与如请求项1至14中任一项之 水相硷性光阻清洗组合物接触,以自该彩色光阻涂 布设备上及显影液管路间移除该彩色光阻残留物 之步骤。 |
