| 主权项 |
1.一种使用硷土金属交换及浸渍的沸石提炼三氟 化氮气体的方法,包括下列步骤: 将一含有三氟化氮以及四氟甲烷的气体混合物导 入至沸石3A、4A、或5A之沸石床中,以选择性吸附三 氟化氮至该沸石床上,而该沸石3A、4A、或5A乃经与 一硷土金属离子交换与浸渍;以及 再从该沸石床中得到三氟化氮。 2.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该沸石所包含之离子交换与浸渍的硷 土金属含量,系分别占有根据沸石中的金属总重以 重量计为20~95%以及0.1 ~5%。 3.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该硷土金属为镁。 4.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该硷土金属为钙。 5.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该硷土金属为锶。 6.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该硷土金属为钡。 7.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该含有三氟化氮以及四氟甲烷的气体 混合物乃于-100至50℃之温度下导入至沸石床中。 8.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该含有三氟化氮以及四氟甲烷的气体 混合物系与一惰气结合而导入至沸石床中,而该惰 气总计占有该导入之三氟化氮、四氟甲烷、和惰 气之总体积的20至80体积百分比含量。 9.如申请专利范围第8项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中该惰气乃择自一包含氩气、氮气、以 及氦气之族群。 10.如申请专利范围第1项所述之提炼三氟化氮气体 的方法,其中将吸附的三氟化氮气体导入至上述经 与硷土金属离子交换与浸渍的沸石3A、4A、或5A之 步骤,以及再从该沸石床中得到三氟化氮的步骤乃 接着进行两次或两次以上。 11.一种三氟化氮的吸附剂,此吸附剂包含硷土金属 离子交换与浸渍的沸石3A、4A、或5A,并可自一包含 三氟化氮以及四氟甲烷的气体混合物中选择性地 吸附三氟化氮。 12.如申请专利范围第11项所述之三氟化氮的吸附 剂,其中该沸石所包含之离子交换与浸渍的硷土金 属含量,系分别占有根据沸石中之金属总重以重量 计为20~95重量百分比以及0.1~5%。 |
