| 主权项 |
1.一种用于产生照射之器件,其包含: 一第一喷嘴,其系配置成提供一第一材料之一第一 喷注,其中该第一材料之该第一喷注系配置成充当 一第一电极; 一第二电极;及 一点火源,其系配置成在该第一电极与该第二电极 之间触发一放电。 2.如请求项1之器件,其中该点火源系配置成藉由该 第一材料之蒸发来触发该放电。 3.如请求项1之器件,其进一步包含: 一第二喷嘴,其系配置成提供一第二材料之一第二 喷注,该第二喷注系配置成充当该第二电极,其中 该点火源系配置成藉由该第一材料与该第二材料 中至少一者之蒸发来触发该放电。 4.如请求项1之器件,其进一步包含: 一第二喷嘴,其系配置成提供一第二材料之一第二 喷注,该第二喷注系配置成充当该第二电极;及 一第三材料之一物质,其中该点火源系配置成藉由 该第三材料之蒸发来触发该放电。 5.如请求项1之器件,其中该第一喷注之长度大约为 3 cm至30 cm而厚度大约为0.1 mm至1 mm。 6.如请求项1之器件,其中该点火源系配置成产生一 光束,该光束包含一照射光束、一粒子光束及其任 何组合之至少一者。 7.如请求项1之器件,其中该第一喷嘴系配置成朝沿 一直线轨迹之一方向提供该第一材料。 8.如请求项7之器件,其进一步包含: 至少另一喷嘴,其系配置成提供至少另一喷注,该 第一喷注与该至少另一喷注系配置成提供一实质 上平坦形状的电极。 9.如请求项1之器件,其中该第一材料包含锡、铟、 锂、汞、铋、锑、铅及其任何组合之至少一者。 10.一种微影装置,其包含: 一照射产生器,其包含:一第一喷嘴,其系配置成提 供一第一材料之一第一喷注,其中该第一材料之该 第一喷注系配置成充当一第一电极;一第二电极; 及一点火源,其系配置成在该第一电极与该第二电 极之间触发一放电; 一照明系统,其系配置成调节来自该照射产生器之 一照射光束; 一支撑物,其系配置成支撑一图案化器件,该图案 化器件系配置成赋予该照射光束一断面图案; 一基板台,其系配置成固持一基板;及 一投影系统,其系配置成将该已图案化的光束投影 至该基板之一目标部分上。 11.如请求项10之装置,其中该点火源系配置成藉由 该第一材料之蒸发来触发该放电。 12.如请求项10之装置,其进一步包含: 一第二喷嘴,其系配置成提供一第二材料之一第二 喷注,该第二喷注系配置成充当该第二电极,其中 该点火源系配置成藉由该第一材料与该第二材料 之至少一者之蒸发来触发该放电。 13.如请求项10之装置,其进一步包含: 一第二喷嘴,其系配置成提供一第二材料之一第二 喷注,该第二喷注系配置成充当该第二电极;及 一第三材料之一物质,其中该点火源系配置成藉由 该第三材料之蒸发来触发该放电。 14.如请求项10之装置,其中该第一喷注之长度大约 为3 cm至30 cm而厚度大约为0.1 mm至1 mm。 15.如请求项10之器件,其中该点火源系配置成产生 一光束,该光束包含一照射光束、一粒子光束及其 任何组合之至少一者。 16.如请求项10之装置,其中该第一喷嘴系配置成朝 沿一直线轨迹之一方向提供该第一材料。 17.如请求项16之装置,其进一步包含: 至少另一喷嘴,其系配置成提供至少另一喷注,该 第一喷注与该至少另一喷注系配置成提供一实质 上平坦形状的电极。 18.如请求项10之装置,其中该第一材料包含锡、铟 、锂、汞、铋、锑、铅及其任何组合之至少一者 。 19.一种器件制造方法,其包含: 提供一第一材料之一第一喷注,其中该第一材料之 该第一喷注系配置成充当一第一电极; 在该第一电极与一第二电极之间触发一放电以产 生一照射光束; 采用该照射光束之一断面上的图案来图案化该照 射光束;及 将该已图案化的照射光束投影到一基板之一目标 部分上。 20.一种藉由请求项19之方法来制造之器件。 图式简单说明: 图1说明依据本发明之一具体实施例之一微影装置 ; 图2说明依据先前技术之一照射源; 图3a说明依据本发明之一具体实施例之一照射源; 图3b显示沿图3a之喷注之线IIIb至IIIb之一断面; 图4说明依据本发明之一照射源之一具体实施例中 之一喷注几何结构之一断面; 图5a说明依据本发明之另一具体实施例之一照射 源;及 图5b说明沿图5a中的线Vb至Vb之一断面。 |
