| 主权项 |
1.一种光罩清洗装置,其包含: 一壳体,其内部形成有数个容置空间,该其中一容 置空间设有一出入口,且该壳体另设有一通道,该 通道贯穿连通各该容置空间; 至少一清洁单元,其设置于设有该出入口之容置空 间以外的其他容置空间中; 数个乾燥单元,其设置于设有该出入口及该清洁单 元之容置空间以外的另一容置空间中,该乾燥单元 设有数个出风口,且该出风口分别设置于该通道之 相对二侧; 一输送单元,其对应设置于该通道之一侧;及 一承载架,其一端连接该输送单元,该输送单元沿 着该通道移动该承载架于各该容置空间之间,该承 载架设有一置物槽及数个限位件,该限位件可伸缩 的对应止挡于该置物槽之一开口。 2.依申请专利范围第1项所述之光罩清洗装置,其中 该清洁单元为一第一清洁单元时,设有该出入口之 容置空间及设有该第一清洁单元之另一容置空间 分别位于该壳体之二端部,而设有该乾燥单元之容 置空间则位于该出入口及该第一清洁单元之间。 3.依申请专利范围第2项所述之光罩清洗装置,其中 该清洁单元另包含一第二清洁单元时,设有该第二 清洁单元之容置空间位于该第一清洁单元及该乾 燥单元之间。 4.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该清洁单元设有数个喷嘴及至少一辅助清 洁元件,该喷嘴设置于该通道之至少一侧,且该辅 助清洁元件亦设置于该通道之一侧。 5.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该壳体另设有一载座及数个驱动件,该载 座位于该出入口所对位之容置空间的一侧,该驱动 件对应该限位件固设于该载座上。 6.依申请专利范围第4项所述之光罩清洗装置,其中 该壳体另设有一载座及数个驱动件,该载座位于该 出入口所对位之容置空间的一侧,该驱动件对应该 限位件固设于该载座上。 7.依申请专利范围第5项所述之光罩清洗装置,其中 该载座之纵向高度小于该承载架之纵向高度。 8.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该输送单元设有一动力组件及一带体,该 动力组件系由一马达及一辊轮构成,该带体对应绕 设于该动力组件之外周面。 9.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该输送单元设有二滑轨,该滑轨对应该承 载架之移动路径设置于该壳体之一侧,且与该承载 架之相对二侧缘相互卡合。 10.依申请专利范围第4项所述之光罩清洗装置,其 中该输送单元设有二滑轨,该滑轨对应该承载架之 移动路径设置于该壳体之一侧,且与该承载架之相 对二侧缘相互卡合。 11.依申请专利范围第5项所述之光罩清洗装置,其 中该输送单元设有二滑轨,该滑轨对应该承载架之 移动路径设置于该壳体之一侧,且与该承载架之相 对二侧缘相互卡合。 12.依申请专利范围第8项所述之光罩清洗装置,其 中该输送单元设有二滑轨,该滑轨对应该承载架之 移动路径设置于该壳体之一侧,且与该承载架之相 对二侧缘相互卡合。 13.依申请专利范围第9项所述之光罩清洗装置,其 中该承载架之一侧对称设有数个滚轮,该滚轮可滑 动的对应卡合于该输送单元之滑轨。 14.依申请专利范围第10项所述之光罩清洗装置,其 中该承载架之一侧对称设有数个滚轮,该滚轮可滑 动的对应卡合于该输送单元之滑轨。 15.依申请专利范围第11项所述之光罩清洗装置,其 中该承载架之一侧对称设有数个滚轮,该滚轮可滑 动的对应卡合于该输送单元之滑轨。 16.依申请专利范围第12项所述之光罩清洗装置,其 中该承载架之一侧对称设有数个滚轮,该滚轮可滑 动的对应卡合于该输送单元之滑轨。 17.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位 元件,该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另 一端则抵靠于该承载架。 18.依申请专利范围第4项所述之光罩清洗装置,其 中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位元件, 该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另一端则 抵靠于该承载架。 19.依申请专利范围第5项所述之光罩清洗装置,其 中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位元件, 该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另一端则 抵靠于该承载架。 20.依申请专利范围第8项所述之光罩清洗装置,其 中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位元件, 该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另一端则 抵靠于该承载架。 21.依申请专利范围第9项所述之光罩清洗装置,其 中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位元件, 该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另一端则 抵靠于该承载架。 22.依申请专利范围第13项所述之光罩清洗装置,其 中该限位件与该承载架之间设有一弹性复位元件, 该弹性复位元件之一端抵靠于该限位件,另一端则 抵靠于该承载架。 23.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中该壳体设有数个隔板,各该隔板系将该壳 体之内部隔成该数个容置空间。 24.依申请专利范围第1、2或3项所述之光罩清洗装 置,其中另设有一集液槽,该集液槽对应设置于各 该容置空间之下方。 图式简单说明: 第1图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之立体 图。 第2图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之前视 图。 第3图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之侧视 图。 第4图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之俯视 图。 第5图:本创作较佳实施例之光罩置入承载架前之 使用示意图。 第6图:本创作较佳实施例之光罩置入承载架后利 用限位件止挡之使用示意图。 第7图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之使用 示意图。 第8图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之另一 使用示意图。 第9图:本创作较佳实施例之光罩清洗装置之再一 使用示意图。 |
