| 发明名称 |
Interferometersysteme zur Messung von Verlagerungen und diese Systeme benutzende Belichtungssysteme |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005047162(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.10 |
| 申请号 |
DE20051047162 |
申请日期 |
2005.09.30 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. |
发明人 |
PARK, DONG-WOON |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G03F9/00 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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