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Die Erfindung betrifft mikromechanische Elemente, Verfahren zur ihrer Herstellung und deren Verwendung, die bei einer Resonanzfrequenz ausgelenkt werden sollen. Es ist daher Aufgabe der Erfindung herstellungsbedingt auftretende Abweichungen, die Einfluss auf die Resonanzfrequenz mikromechanischer Elemente haben, einfach und kostengünstig kompensieren zu können. Erfindungsgemäß wird dabei so vorgegangen, dass gleichzeitig mit der Ausbildung der Gräben durch Trockenätzen, mit denen mindestens ein Federelement, ein auslenkbares Element und ggf. auch ein Rahmenelement von mikromechanischen Elementen ausgebildet werden, am auslenkbaren Element zusätzliche Gräben und/oder Vertiefungen ausgebildet werden. Dadurch können die Gräben und Vertiefungen unter jeweils gleichen Prozessparametern an dem jeweiligen mikromechanischen Element oder allen mikromechanischen Elementen einer Charge ausgebildet werden. Ein Abtrag von Werkstoff beim Ätzen, bevorzugt Trockenätzen erfolgt daher unter gleichen Ätzbedingungen, so dass die jeweils entfernte Masse an Gräben und/oder Vertiefungen von den Ätzprozessparametern in gleicher Weise beeinflusst wird.
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