| 摘要 |
1. Субстрат с нанесенным на него фильтром Фабри-Перо, состоящим по меньшей мере из трех слоев, причем первый и второй светоотражающие слои фильтра с обращенными друг к другу отражательными наружными поверхностями отделены друг от друга зазором толщиной d, в котором находится светопроницаемый промежуточный слой, отличающийся тем, что отражающие слои (3, 5) выполнены из одного и того же основного материала, а промежуточный слой (4) - из вещества, являющегося химическим соединением этого основного материала с другим материалом.2. Субстрат по п.1, отличающийся тем, что основной материал представляет собой металл, а другой материал - кислород, при этом отражающие слои (3, 5) являются металлическими слоями, а промежуточный слой (4) образован оксидом металла, имеющим стехиометрический или же не стехиометрический состав.3. Субстрат по п.1, отличающийся тем, что металлом является алюминий, при этом промежуточный слой (4) состоит из оксида алюминия.4. Субстрат по п.1, отличающийся тем, что основным материалом является металл, а другим материалом - азот, при этом отражающие слои (3, 5) являются металлическими слоями, а промежуточный слой (4) образован соединением металла с азотом, имеющим стехиометрический или же не стехиометрический состав.5. Субстрат по п.4, отличающийся тем, что металлом является алюминий, при этом промежуточный слой (4) состоит из нитрида алюминия.6. Субстрат по одному из пп.1-5, отличающийся тем, что прилегающий к субстрату (2) первый отражающий слой (3) является светонепроницаемым, а наружный второй отражающий слой (5) частично светопроницаемым.7. Субстрат по п.6, отличающийся тем, что прилегающий к субстрату (2) первый отражающ� |
