发明名称 Einheit zum Halten eines Werkstückes mittels Vakuum und Vakuumkopf
摘要
申请公布号 DE69938260(D1) 申请公布日期 2008.04.10
申请号 DE1999638260 申请日期 1999.10.15
申请人 YAMAZAKI MAZAK K.K. 发明人 OCHIAI, AKIYOSHI;MORISHITA, AKIO;TODA, KAZUYUKI;FURUHASHI, RYOICHI
分类号 B23Q7/04;B25B11/00;B65G47/91;H01L21/677;H01L21/683 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
主权项
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