| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung eines Halbleiter-Bauteils |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10120302(B4) |
申请公布日期 |
2008.04.10 |
| 申请号 |
DE20011020302 |
申请日期 |
2001.04.25 |
| 申请人 |
SHARP K.K. |
发明人 |
YAMAZAKI, SHINOBU;ISHIHARA, KAZUYA |
| 分类号 |
H01L21/8239;H01L27/10;H01L21/02;H01L21/8242;H01L27/105;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/8239 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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