| 摘要 |
1. Способ изготовления газового сенсора, включающий последовательное формирование на подложке системы контактов методами микротехнологии, и чувствительного элемента на основе композиционного материала, состоящего из полимерной матрицы, армированной частицами наполнителя, отличающийся тем, что в качестве материала полимерной матрицы используют фоточувствительные композиции.2. Способ изготовления газового сенсора по п.1, отличающийся тем, что формирование чувствительного элемента осуществляют методами литографии.3. Способ изготовления газового сенсора по п.1, отличающийся тем, что формирование слоя материала чувствительного элемента осуществляют из смеси раствора фоточувствительной композиции в растворителе с частицами наполнителя.4. Способ изготовления газового сенсора по п.3, отличающийся тем, что в качестве наполнителя используют моно- или полидисперсные порошки нанотрубок, фуллеренов, сажи, графита, наночастицы окиси олова.5. Способ изготовления газового сенсора по п.1, отличающийся тем, что формирование слоя чувствительного элемента осуществляют методом центрифугирования смеси раствора полимера с частицами наполнителя.6. Способ изготовления газового сенсора по пп.1 и 2, отличающийся тем, что термообработка слоя чувствительного элемента осуществляется после проведения процесса литографии термическим методом при температуре, не выше температуры деструкции полимерной матрицы. |
