Method and Apparatus for Treating PFC Gas,申请号KR20000047087-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Method and Apparatus for Treating PFC Gas
摘要
申请公布号	KR100821452(B1)	申请公布日期	2008.04.10
申请号	KR20000047087	申请日期	2000.08.16
申请人		发明人
分类号	B01D53/68;B01D53/34;B01D53/70;B01D53/77;B01D53/86;B01J23/63;B01J23/755;(IPC1-7):B01D53/68	主分类号	B01D53/68
代理机构		代理人
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