发明名称 一种硫属相变存储器CRAM存储元
摘要 本发明涉及一种硫属相变存储器CRAM存储元,其材料层从下到上依次为:下电极;第一相变层;加热层;第二相变层和上电极;加热层尺寸小于相变层,第一相变层、加热层、第二相变层形成“工”形结构。本发明相比目前的硫属相变存储器CRAM的结构,不同之处在于合理利用了GST相变材料的隔热功能,使用了第一GST相变层+加热层+第二相变层的“工”形结构,充分利用了加热层的两端同时加热的功能以及利用GST相变材料的自身加热隔热功能提高加热效率并简化制造工艺,不仅在理论上给出了其优良性能的说明,而且通过模拟计算热场分布给出了较好的证明。
申请公布号 CN101159313A 申请公布日期 2008.04.09
申请号 CN200710168408.X 申请日期 2007.11.22
申请人 武汉理工大学 发明人 王嘉赋;向宏酉;李娟
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L27/24(2006.01);G11C11/56(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 武汉开元专利代理有限责任公司 代理人 潘杰
主权项 1.一种硫属相变存储器CRAM存储元、其材料层从下至上依次为:下电极、第一相变层、加热层、第二相变层和上电极。
地址 430070湖北省武汉市武昌珞狮路122号