磁控阀和由该种磁控阀制成的真空板

摘要

本文公开一种对真空工作台特别有用的磁控阀。提供的磁控阀包括小室，该小室分隔为第一子小室和第二子小室，其中的分隔由分隔的矮壁实现。所述矮壁能在第一和第二子小室之间，使小室高的部分形成通路，并在第一和第二子小室之间使小室低的部分不能形成通路。该磁性阀还包括，在小室的上壁中或在小室的侧壁中的至少一个进气口，和在第二子小室底部中的排气口。一铁球，位于小室内部，并能在小室高的部分通过第一子小室到达第二子小室，反之亦然，其中，该铁球位于第二子小室中时，能封闭该排气口。此外，该磁性阀包括能在小室上侧之上滑动的滑块，其中该滑块由磁铁制成，并在操作上用于在第一子小室上滑动并把铁球吸起，在继续滑动的同时，在分隔矮壁之上拖曳着铁球，进入第二子小室。继续在小室之上滑动，脱离铁球，使铁球落进第二子小室并封闭该排气口，而往回滑动则相反地打开该排气口。

主权项

1.一种磁性阀，包括：a)小室，所述小室被分隔为第一子小室和第二子小室，其中所述分隔由分隔的矮壁实现，所述矮壁能在所述第一和第二子小室之间，使所述小室高的部分形成通路，并在所述第一和第二子小室之间使所述小室低的部分不能形成通路；b)位于所述小室的上壁中或所述小室的侧壁中的至少一个进气口；c)位于所述第二子小室底部中的排气口；d)一铁球，位于所述小室内部，并能在所述小室高的部分通过所述第一子小室到达所述第二子小室，反之亦然，其中，所述铁球位于所述第二子小室中时，能封闭所述排气口；和e)能在所述小室上侧之上滑动的滑块，其中所述滑块由磁铁制成，并在操作上用于：i)在所述第一子小室上滑动，并把所述铁球吸起；ii)在继续滑动的同时，在分隔矮壁之上拖曳着所述铁球，进入所述第二子小室；iii)继续在所述小室之上滑动，脱离所述铁球，使所述铁球落进所述第二子小室并封闭所述排气口；和iv)往回滑动则相反地打开所述排气口。