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经营范围
发明名称
Lithographic projection apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号
EP1424598(B1)
申请公布日期
2008.04.09
申请号
EP20030257447
申请日期
2003.11.26
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
BLEEKER, ARNO JAN;BENSCHOP, JOZEF PETRUS HENRICUS
分类号
G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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