互连结构及方法

摘要

用于集成电路的互连结构(10)具有第一单元(30)的阵列(20)、至少一个平行于第一阵列的第二单元(50)的阵列(40)、以及设置用于连接第一阵列单元与第二阵列单元的互连(60)，至少一些互连沿着关于第一和第二阵列倾斜取向的轴(90)设置。互连的第一和第二组倾斜轴可以彼此平行或相反。互连可以包括沿着倾斜轴(90)设置的倾斜柱(400)或阶梯式柱(410)。公开了用于制造和使用这种结构的方法。

主权项

1.一种用于集成电路的结构，所述结构包括：a)第一单元阵列，b)至少一个第二单元阵列，和c)适合于将所述第一单元阵列的单元与所述第二单元阵列的单元电耦合的内部互连，所述内部互连中的至少一些沿着关于所述第一和第二单元阵列呈一角度取向的轴设置并且彼此电耦合，所述角度在30度与60度之间，其中多对第一和第二轴以交替相反的关系设置，由此不存在相邻于平行的第二轴的第一轴，因此最小化它们各自内部互连之间的重叠区域，由此所述第一和第二轴适合地设置成最小化它们各自内部互连之间的电容。