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发明名称 GAS DISCHARGE LASER CHAMBER IMPROVEMENTS
摘要
申请公布号 EP1754291(A4) 申请公布日期 2008.04.09
申请号 EP20050733083 申请日期 2005.03.03
申请人 CYMER, INC. 发明人 PARTLO, WILLIAM, N.;AMADA, YOSHIHO;CARMICHAEL, JAMES, A.;DYER, TIMOTHY, S.;GILLESPIE, WALTER, D.;MOOSMAN, BRYAN, G.;RETTIG, CURTIS, L.;STRATE, BRIAN, D.;STEIGER, THOMAS, D.;TRINTCHOUK, FEDOR, B.;UJAZDOWSKI, RICHARD, C.
分类号 H01S3/22;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/097;H01S3/225 主分类号 H01S3/22
代理机构 代理人
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