发明名称 用于集成电路芯片的宇宙射线检测器
摘要 在一些实施例中,宇宙射线检测器包括具有第一探针的悬臂。该检测器还包括第二探针和电路,以便提供信号,所述信号指示所述第一探针与第二探针之间的距离是由宇宙射线相互作用事件所引起的。还描述其他实施例并要求权利。
申请公布号 CN101160536A 申请公布日期 2008.04.09
申请号 CN200580021288.X 申请日期 2005.06.29
申请人 英特尔公司 发明人 E·C·汉纳
分类号 G01T1/00(2006.01);G06F11/00(2006.01);H01L31/00(2006.01) 主分类号 G01T1/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 曾祥夌;梁永
主权项 1.一种宇宙射线检测器,包括:具有第一探针的悬臂;第二探针;以及提供信号的电路,所述信号指示所述第一探针与第二探针之间的距离会由宇宙射线相互作用事件引起。
地址 美国加利福尼亚州