固体氧化物燃料电池电解质及方法

摘要

一种制造固体氧化物燃料电池电解质的方法，包括将基底预加热到大约1100℃及更高的基底温度，氧化物电解质层会沉积到该衬垫上，在压力为10^－3或更低毫米汞柱、没有例如氧气等生产气体的抽空腔室内用电子束撞击包括氧化物的源极的表面，以在腔室内蒸发氧化物，以及将预加热基底放置在腔室中，在该腔室中氧化物沉积到加热基底上。氧化物燃料电池电解质被沉积成具有柱状氧化物微观结构。

主权项

1.一种制造氧化物层的方法，包括将基底加热到大约1100℃及更高的基底温度，氧化物层将沉积到该基底上，在压力为10-3或更低毫米汞柱的腔室内用电子束撞击包括氧化物的源极的表面，以在腔室内蒸发氧化物，在腔室内将氧化物沉积到加热后的基底上，氧化物沉积在加热后基底上以形成氧化物层。