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发明名称 METHOD FOR THE PRODUCTION OF MAGNETRON-COATED SUBSTRATES AND MAGNETRON SPUTTER SOURCE
摘要
申请公布号 EP1908090(A1) 申请公布日期 2008.04.09
申请号 EP20050760670 申请日期 2005.07.26
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WEICHART, JUERGEN
分类号 H01J37/34;C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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