液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法以及液滴喷出装置的制造方法

摘要

本发明提供一种可实现喷嘴的高密度化且能防止喷嘴间的压力干涉的液滴喷头、液滴喷头的制造方法等。液滴喷头(10)至少具有：喷嘴基板(1)、具有喷出室(31)的腔室基板(3)、具有成为存液器(23)的存液器凹部(23a)的存液器基板(2)，在存液器凹部(23a)的内表面整体、和在存液器凹部(23a)的开口的周围形成有深度比存液器凹部(23a)浅的浅凹部(23c)的底面上，具有通过成膜形成的树脂薄膜(111)，成膜在浅凹部(23c)的底面上的树脂薄膜(111)，被切断成包围存液器凹部(23a)的环绕状，成膜在存液器凹部(23a)的底面上的树脂薄膜(111)的一部分成为缓冲压力变动的隔膜部(100)。

主权项

1.一种液滴喷头，至少具备：喷嘴基板，其具有多个喷嘴孔；腔室基板，其具有与所述各喷嘴孔连通、由所述喷嘴孔喷出液滴的多个独立的喷出室；存液器基板，其具有成为相对于所述喷出室共同连通的存液器的存液器凹部，且设置在所述喷嘴基板和所述腔室基板之间，所述液滴喷头的特征在于，在所述存液器凹部的内表面整体、和形成在所述存液器凹部的开口周围且深度比所述存液器凹部浅的第二凹部的底面，具有通过成膜形成的树脂薄膜，在所述第二凹部的底面成膜的所述树脂薄膜，被切断成包围所述存液器凹部的环绕状，在所述存液器凹部的底面成膜的所述树脂薄膜的一部分成为缓冲压力变动的隔膜部。