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发明名称 ATOMIC LAYER DEPOSITION USING ALKALINE EARTH METAL BETA-DIKETIMINATE PRECURSORS
摘要
申请公布号 EP1907600(A2) 申请公布日期 2008.04.09
申请号 EP20060774110 申请日期 2006.06.27
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 QUICK, TIMOTHY, A.
分类号 C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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