闪光辐射装置与光加热装置

摘要

提供一种即使被处理物具有大的被处理面，也可对该被处理物的表面进行高度均匀的加热的闪光辐射装置和采用该装置的光加热装置。所述闪光辐射装置，由分别连接于提供发光能量的主电容的平行排列的多个闪光放电灯构成，将这些闪光放电灯发出的闪光照射在被处理物上。与多个闪光放电灯对应的全部主电容的电容量基本上相同，使与设置在所述多个闪光放电灯排列两端的端部闪光放电灯对应的端部主电容的充电电压，高于与端部闪光放电灯以外的部分闪光放电灯对应的部分主电容的充电电压。光加热装置中，设有使闪光照射在该箱体内半导体晶片上的所述闪光辐射装置。

主权项

1.一种闪光辐射装置，由分别连接于提供发光能量的主电容的平行排列的多个闪光放电灯构成，它将这些闪光放电灯发出的闪光照射在被处理物上，其特征在于：设有与所述多个闪光放电灯分别对应的主电容，全部主电容的电容量相同，使与设置在所述多个闪光放电灯的两端的端部闪光放电灯对应的端部主电容的充电电压，高于与端部闪光放电灯以外的中央部分闪光放电灯对应的中央部分主电容的充电电压。