利用消除辅助特征来提高处理范围的方法

摘要

一种通过使用光刻装置将光刻图案传送到基底上的方法。该方法包括步骤：(1)定义要印刷到基底上的特征；(2)确定哪些特征需要在其周围布置辅助特征，使得这些特征可以在定义的分辨率的范围内印刷；(3)生成一个包括需要印刷的特征和辅助特征的掩膜；(4)进行第一照射处理，使得将特征印刷到基底上，第一照射处理将辅助特征部分印刷到基底上；和(5)进行第二照射处理，使得减少印刷到基底上的辅助特征的量；第二照射处理必须进行四极照射的步骤。

主权项

1.一种通过使用光刻装置将光刻图案传送到基底上的方法，所述方法包括步骤：定义要印刷到所述基底上的待印刷特征；确定哪些待印刷特征需要在其周围布置辅助特征，使得所述待印刷特征可以在定义的分辨率的范围内印刷；形成一个包括所述待印刷特征和辅助特征的掩膜；进行第一照射处理，使得将所述待印刷特征印刷到基底上，所述第一照射处理将所述辅助特征被部分地印刷到所述基底上；和，进行第二照射处理，使得减少印刷到所述基底上的所述辅助特征的量；所述第二照射处理包括进行四极照射的步骤。