| 发明名称 | 在真空条件下处理物体的多腔室装置、对该装置抽真空的方法及其抽真空系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在真空条件下处理物体的多腔室装置(1)，它具有一个连接到所述腔室(2、3、4)上的抽真空系统(5)；为降低抽真空的费用，建议抽真空系统(5)由一个具有多个级(11、12、13)的预真空泵组成，每一个级的都配置有一个入口(14、15、16)，并且每一个入口都连接到腔室(2、3、4)中的一个上。 | ||
| 申请公布号 | CN100379894C | 申请公布日期 | 2008.04.09 |
| 申请号 | CN02819815.8 | 申请日期 | 2002.09.28 |
| 申请人 | 奥林肯莱博尔德真空技术有限责任公司 | 发明人 | 彼得·米勒;卢茨·阿恩特 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01);C23C16/54(2006.01);C23C14/22(2006.01);C23C14/56(2006.01);F04C23/00(2006.01) | 主分类号 | C23C16/44(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 张兆东 |
| 主权项 | 1.一种在真空条件下处理物体的多腔室装置(1)，它具有一个连接到所述多腔室(2、3、4)上的抽真空系统(5)，其特征为：抽真空系统(5)由一个具有多个泵级(11、12、13)的预真空泵组成，每一个泵级都配有一个入口(14、15、16)，并且每一个入口都连接到所述多腔室(2、3、4)中的一个上，所述预真空泵(5)的各泵级(11、12、13)平行配置。 | ||
| 地址 | 德国科隆 | ||