| 发明名称 | 晶片缺陷检测方法与系统以及存储媒体 | ||
| 摘要 | 一种晶片缺陷检测方法。对一晶片执行一半导体工艺。利用一明视野缺陷检测工具与一暗视野缺陷检测工具分别扫描该晶片。利用二次电子显微镜装置检视该晶片扫描后所得的缺陷分布，并且根据该缺陷分布与严重缺陷的抓取率决定以该明视野缺陷检测工具或该暗视野缺陷检测工具对该晶片执行一缺陷检测操作。 | ||
| 申请公布号 | CN100380621C | 申请公布日期 | 2008.04.09 |
| 申请号 | CN200510063841.8 | 申请日期 | 2005.04.08 |
| 申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 林龙辉;郭峰铭 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01);G01N21/88(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种晶片缺陷检测方法，包括下列步骤：对一晶片执行一半导体工艺；利用一明视野缺陷检测工具与一暗视野缺陷检测工具分别扫描该晶片；利用一显微装置检视该晶片扫描后所得的缺陷分布；以及根据该缺陷分布与严重缺陷的抓取率决定以该明视野缺陷检测工具或该暗视野缺陷检测工具对该晶片执行一缺陷检测操作。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||