奥氏体不锈钢电子束辅助等离子体表面改性方法及设备

摘要

本发明奥氏体不锈钢电子束辅助等离子体表面改性方法及设备属于材料表面改性的技术领域，该设备包括真空炉、空心阴极装置、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统和冷却系统。对工件表面进行处理时，空心阴极装置内产生空心阴极效应，进而产生低能电子束，电子束被引入真空炉中，在阳极下，电子束的电子发生分散，使反应气体分解、离化，在阴极偏压作用下，产生的正离子等轰击工件达到渗氮效果。本发明也适用于铁、铝、钛及其合金材料的表面改性处理。本发明的有益效果是：工件表面渗氮速度快，工件偏压低，工艺易控制，设备简单，成本低。

主权项

1.奥氏体不锈钢电子束辅助等离子体表面改性设备，其特征在于，该设备主要由真空炉、空心阴极装置(1)、供气系统(11)、测温系统(13)、抽真空系统(14)、供电系统和冷却系统组成，空心阴极装置(1)置于真空炉的正上方或侧方，供气系统(11)通过进气口(9)接入真空炉内，测温系统(13)与待处理的工件(6)连接，抽真空系统(14)通过排气口(4)与真空炉炉体连接，冷却系统与真空炉的进水口(8)连接；供电系统包括空心阴极装置(1)的电源(15)和偏压电源(12)，电源(15)与空心阴极装置(1)电连接，偏压电源(12)与待处理的工件(6)电连接，真空炉内壁或阳极板(3)与电源(15)的阳极连接。