| 发明名称 | 包括空腔的熔丝结构及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种熔丝结构，该熔丝结构包括插入在基板和熔丝材料层之间的空腔。所述空腔不形成于所述熔丝材料层的侧壁，或与所述基板相对的熔丝材料的表面。当所述熔丝材料层包括突出的端部和较窄的中间区时，在使用自对准蚀刻法时，空腔可以形成插入所述基板和熔丝材料层之间。所述空腔通过支撑所述熔丝材料层的一对牺牲层基座而被隔离。包封所述空腔从而通过使用包封介电层而形成空腔。作为替代，当形成插入所述基板和熔丝材料层之间的空腔时，可以使用阻挡掩模。 | ||
| 申请公布号 | CN101159258A | 申请公布日期 | 2008.04.09 |
| 申请号 | CN200710153741.3 | 申请日期 | 2007.09.14 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 阿尼尔·K·钦撒金迪;金德起;钱德拉撒克哈兰·科塞恩达拉曼 |
| 分类号 | H01L23/525(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L23/525(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张波;许向华 |
| 主权项 | 1.一种熔丝结构，包括：通过空腔从基板分离的熔丝材料层，所述空腔不延伸至与所述基板相对的熔丝材料层侧。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||