HARD MASK STRUCTURE FOR PATTERNING OF MATERIALS,申请号EP20050853232-传众专利搜索

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发明名称	HARD MASK STRUCTURE FOR PATTERNING OF MATERIALS
摘要
申请公布号	EP1908094(A2)	申请公布日期	2008.04.09
申请号	EP20050853232	申请日期	2005.12.07
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	GAIDIS, MICHAEL, C.;KANAKASABAPATHY, SIVANANDA, K.;O'SULLIVAN, EUGENE, J.
分类号	H01L21/00;B05C1/00;B44C1/22	主分类号	H01L21/00
代理机构		代理人
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