PLASMA ETCHING APPARATUS AND FORMING METHOD OF MEMBER IN PLASMA PRECESSING CHAMBER,申请号KR20060020366-传众专利搜索

发明名称	PLASMA ETCHING APPARATUS AND FORMING METHOD OF MEMBER IN PLASMA PRECESSING CHAMBER
摘要
申请公布号	KR100819530(B1)	申请公布日期	2008.04.04
申请号	KR20060020366	申请日期	2006.03.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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