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发明名称 A METHOD FOR REPAIRING DAMAGED FILM AND A SYSTEM FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 KR100819188(B1) 申请公布日期 2008.04.04
申请号 KR20027012273 申请日期 2002.09.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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