摘要 |
Laser-Scanning-Mikroskop zur Messung von diffus reflektierter Beleuchtungsstrahlung, mit einem Detek untersuchenden Objekt bis zum Detektor verläuft, einem an einer Einkoppelstelle im Detektionsstrahlengang (DS) angeordneten Strahlteiler, der den Querschnitt des Detektionsstrahlengangs (DS) an der Einkoppelstelle in einen ersten und einen zweiten Bereich aufteilt, einem Laser zur Erzeugung von Beleuchtungsstrahlung, die über den Strahlteiler in den von der Einkoppelstelle bis zum Objekt verlaufenden ersten Teil des Detektionsstrahlengangs (DS) eingekoppelt und bis zum Objekt geführt wird, wobei nur die auf den ersten Bereich treffende Beleuchtungsstrahlung in den Detektionsstrahlengang (DS) eingekoppelt wird und von der vom Objekt reflektierten Bleuchtungsstrahlung, die entlang des Detektionsstrahlengangs (DS) bis zum Strahlteiler läuft, nur der Anteil in den vom Strahlteiler bis zum Detektor verlaufenden zweiten Teil des Detektionsstrahlengangs (DS) eingekoppelt wird, der auf den zweiten Bereich trifft, um den diffus reflektierten Anteil der reflektierten Beleuchtungsstrahlung zu detektieren.
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