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发明名称 Freitragendes Substrat, Verfahren zur Herstellung desselben und Halbleiterleuchtvorrichtung
摘要
申请公布号 DE112006000654(T5) 申请公布日期 2008.04.03
申请号 DE200611000654T 申请日期 2006.03.20
申请人 SUMITOMO CHEMICAL CO. LTD. 发明人 UEDA, KAZUMASA;NISHIKAWA, NAOHIRO;TSUCHIDA, YOSHIHIKO
分类号 H01L21/205;C23C16/01;C23C16/34;H01L33/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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