| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERSWAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60225135(D1) |
申请公布日期 |
2008.04.03 |
| 申请号 |
DE20026025135 |
申请日期 |
2002.05.30 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD. |
发明人 |
KASHINO, HISASHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/00;H01L21/687 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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