| 摘要 |
Es wird ein Verfahren zur ortsaufgelösten Untersuchung der elastischen Eigenschaften einer Probe gezeigt, das die folgenden Schritte umfaßt: A Bewegen einer AFM-Spitze 20 zu einer Position oberhalb einer Probestelle auf der Probe 12; B Annähern der AFM-Spitze 20 an die Probestelle und Ermitteln einer Komponente der Kontaktsteifigkeit in einer ersten Richtung, die von der Normalen zur Probenebene um höchstens 20° abweicht; C Ermitteln einer Komponente der Kontaktsteifigkeit an der Probestelle in einer zweiten Richtung, die parallel zur Probenebene ist; D Ermitteln einer Komponente der Kontaktsteifigkeit an der Probestelle in einer dritten Richtung, die parallel zur Probenebene, aber von der zweiten Richtung verschieden ist; Wiederholen der Schritte A bis D für eine Vielzahl von Probestellen und Ausgeben der Kontaktsteifigkeit und/oder von physikalischen Größen, die mit ihr im Zusammenhang stehen, für eine jede der Probestelle. |
