发明名称 Verfahren zur Musterprüfung
摘要
申请公布号 DE10392705(B4) 申请公布日期 2008.04.03
申请号 DE20031092705 申请日期 2003.06.10
申请人 TOKYO SEIMITSU CO. LTD.;ACCRETECH (ISRAEL) LTD. 发明人 GESHEL, MARK;SHMUELI, NIV;FRIEDMANN, GIDEON;BREGMAN-AMITAI, ORNA
分类号 G01N21/956;G06K9/00;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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