<p>Die Erfindung betrifft eine Ellipsometervorrichtung mit einer Lichtquelle zur Erzeugung eines Strahls der Probenbeleuchtung, mit einem feststehenden Teil des Strahlengangs und mindestens einem mit dem Einfallswinkel der Messung bewegten Teil des Strahlengangs, wobei der feststehende Teil des Strahlengangs in den variablen Teil des Strahlengangs durch eine Abbildungsoptik überführbar ist, wobei die Abbildungsoptik in der Drehachse des Goniometers zur Einfallswinkelvariation angeordnet ist und der variable Teil des Strahlengangs als Lichtquelle für die Sendeinheit des Eilipsometers dient.</p>
