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发明名称 SILIZIUM WAFER UND VERFAHREN ZUR STEUERUNG DER TIEFE EINER DEFEKTFREIEN ZONE VON EINEM SILIZIUM WAFER MIT IDEALEM SAUERSTOFFNIEDERSCHLAGVERHALTEN
摘要
申请公布号 DE60224099(T2) 申请公布日期 2008.04.03
申请号 DE20026024099T 申请日期 2002.10.21
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS INC. 发明人 LIBBERT, J. L.;BINNS, M. J.;FALSTER, R. J.
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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