发明名称 Trench capacitor with insulating collar and corresponding manufacturing process
摘要
申请公布号 EP1170804(B1) 申请公布日期 2008.04.02
申请号 EP20010115516 申请日期 2001.06.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SEIDL, HARALD;GUTSCHE, MARTIN, DR.
分类号 H01L29/94;H01L21/02;H01L21/8242 主分类号 H01L29/94
代理机构 代理人
主权项
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