药液处理装置

摘要

本发明涉及一种药液处理装置，第1，解决喷射的药液导致的紊流、储液、变形问题，第2，防止在液中的上浮、鼓动、变形等的搬送损坏，也不会对电路形成面造成损伤。该药液处理装置用于基板的制造工序中，利用药液对基板材料进行表面处理。并且具有液槽，该液槽盛满该药液；输送机，该输送机配设在该液槽内并搬送该基板材料；喷嘴，该喷嘴配设在该液槽内并对该基板材料喷射该药液。该输送机具备运送该基板材料的夹持滚筒群，这些夹持滚筒由夹持并运送该基板材料的两侧端面的驱动滚筒构成，例如夹持并运送的一边的滚筒由软质材料构成；另一边的夹持滚筒由在外周面形成有槽的硬质材料所构成。

主权项

1.一种药液处理装置，其用于基板的制造工序中，利用药液对基板材料进行表面处理，该药液处理装置具有：液槽，该液槽盛满该药液；输送机，该输送机配设在该液槽内并搬送该基板材料；喷嘴，该喷嘴配设在该液槽内并对该基板材料喷射该药液，其特征在于，该输送机具备以不接触电路形成面的方式运送该基板材料的夹持滚筒群，该夹持滚筒由夹持、运送该基板材料的两侧端面的驱动滚筒构成。