发明名称 CATADIOPTRIC IMAGING SYSTEM EMPLOYING IMMERSION LIQUID FOR USE IN BROAD BAND MICROSCOPY
摘要
申请公布号 EP1749230(A4) 申请公布日期 2008.04.02
申请号 EP20050731783 申请日期 2005.03.28
申请人 KLA-TENCOR TECHNOLOGIES CORPORATION 发明人 ARMSTRONG, J., JOSEPH;CHUANG, YUNG-HO;SHAFER, DAVID, R.
分类号 G02B17/08;G02B17/02;G02B21/02;G02B21/04;G02B21/33;G03F7/20 主分类号 G02B17/08
代理机构 代理人
主权项
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