气体流速校验系统和方法

摘要

本发明提供一种气体流速校验设备，它可以在多工具半导体处理平台用。此气体流速校验设备用来测量测试体积内的压力增长速率和温度，以确定相应的气体流速。此设备包括第一和第二体积，其中第二体积大于第一体积。此设备还包括第一和第二压力测量装置，其中第二压力测量装置能测量较高的压力。根据要测量的目标气体流速，可以选择第一或第二体积作为测试体积，并可选择第一或第二压力测量装置来测量测试体积内的压力。此设备的构造使它能够在较短时间内精确测量很宽范围的气体流速。

主权项

1.一种气体流速校验设备，包括：限定在第一室内的第一体积；限定在第二室内的第二体积，第二体积大于第一体积；第一压力测量装置，它在结构上与第一体积或第二体积，或者第一和第二体积两者，通过流体联通连接；第二压力测量装置，它在结构上与第一体积或第二体积，或者第一和第二体积两者，通过流体联通连接，第二压力测量装置能比第一压力测量装置测量更高的压力；其中第一体积和第二体积中的每一个，或第一和第二体积两者，可选为测量气体流速的测试体积；其中第一压力测量装置或第二压力测量装置的每一个，可选择来测量测试体积内的压力。