| 发明名称 | 抽空装置 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种抽空装置。其包括机械式升压泵(5)、串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵(3)，机械式升压泵(5)具有用于排放低压缩气体的排气口(27a)和(27b)以及用于排放高压缩气体的排气口(29)，并且，在排气初始阶段，通过操作机械式升压泵，气体通过用于排放高压缩气体的排气口(29)朝大气侧排放，在排气压力随后达到中度真空阶段，增压泵起动运行，并且气体通过用于排放低压缩气体的排气口(27a)和(27b)被送至增压泵。 | ||
| 申请公布号 | CN101153585A | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200710182193.7 | 申请日期 | 2007.09.29 |
| 申请人 | 阿耐思特岩田株式会社 | 发明人 | 谷川志郎 |
| 分类号 | F04B37/14(2006.01);F04B49/22(2006.01);F04C18/14(2006.01);F04C25/02(2006.01);B01J3/02(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | F04B37/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 曲莹 |
| 主权项 | 1.一种抽空装置，用于对箱、腔室以及类似物进行抽空，该抽空装置包括机械式升压泵、串联地设置在机械式升压泵下游侧的增压泵和用于控制装置运行的控制器；其中机械式升压泵具有至少一个用于排放低压缩气体的排气口，通过该排气口，在升压泵内以部分压缩方式进行压缩的具有低压缩比的低压缩气体被排放，和用于排放高压缩气体的排气口，通过该排气口，具有高压缩比的高压缩气体被排放；并且其中控制器这样控制，从而在排气初始阶段，通过操作机械式升压泵，该气体通过用于排放高压缩气体的排气口朝大气侧排放，在排气压力随后达到中度真空阶段，增压泵起动运行，并且气体通过用于排放低压缩气体的排气口被送至增压泵。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||