| 发明名称 | 放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜的形成 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物，其含有不饱和羧酸或不饱和羧酸酐与(甲基)丙烯酰氧基氧杂环丁烷的共聚物、1，2－醌二叠氮化合物和热敏性酸生成化合物。该组合物没有安全性上的问题，灵敏度、分辨率、作为溶液的保存稳定性等优良，在显影工序中即使超过最适显影时间，也可以形成良好的图案形成，具有良好的显影余量，可用于形成层间绝缘膜和微透镜。 | ||
| 申请公布号 | CN101154041A | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200610172859.6 | 申请日期 | 2006.09.29 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 米田英司;滨田谦一;志保浩司 |
| 分类号 | G03F7/027(2006.01);G03F7/008(2006.01);G03F7/004(2006.01);G03F7/20(2006.01);G03F7/26(2006.01);G02B3/00(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/027(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 熊玉兰;吴娟 |
| 主权项 | 1.一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于含有：[A](a1)和(a2)的共聚物，其中(a1)为选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种(a2)为选自下式(1)表示的化合物和下式(2)表示的化合物中的至少一种，<img file="A2006101728590002C1.GIF" wi="1232" he="408" />式(1)中，R表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基，R<sup>1</sup>表示氢原子或碳原子数为1～4的烷基，R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>相互独立地表示氢原子、氟原子、碳原子数为1～4的烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～4的全氟烷基，n相互独立地为1～6的整数；<img file="A2006101728590002C2.GIF" wi="1091" he="355" />式(2)中，R、R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>、R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>以及n与上式(1)中的定义相同；[B]1，2-醌二叠氮化合物，和[C]热敏性酸生成化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||