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发明名称
摘要
申请公布号
JP4070492(B2)
申请公布日期
2008.04.02
申请号
JP20020098892
申请日期
2002.04.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L27/04;H03B5/04;H03B5/12;H03L1/00;H03L7/099
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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