| 发明名称 |
Interferometric measurement of stage position |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1160629(B1) |
申请公布日期 |
2008.04.02 |
| 申请号 |
EP20010304804 |
申请日期 |
2001.05.31 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
IWAMOTO, KAZUNORI;ASANO, TOSHIYA |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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