| 发明名称 | 使用超临界流体修正多孔性有机材料表面的方法及产物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在有孔结构表面上产生一薄膜的方法和产物，其中该方法包含以下步骤：提供一包含有机材料的有孔结构表面，一个或多个孔洞在该有孔结构表面上具有开口；以一超临界流体接触该有孔结构表面，其中该超临界流体包括一溶剂，以溶合该有孔结构表面和所述孔洞的壁面而形成一溶合有机材料；以及相转变该溶合有机材料，以在该有孔结构表面上形成一密度比该有孔结构的密度更高的、且无孔的薄膜，由该薄膜封闭所述孔洞。由此，使得其表面平坦或无孔，且使得基体或薄膜的机械强度更佳。 | ||
| 申请公布号 | CN100378926C | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200510072820.2 | 申请日期 | 2005.05.23 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 王静亚;庄平;巫尚霖;林俞良;涂宏荣;周梅生;罗冠腾 |
| 分类号 | H01L21/312(2006.01);H01L21/47(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/28(2006.01) | 主分类号 | H01L21/312(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王玉双;潘培坤 |
| 主权项 | 1.一种在有孔结构表面上产生一薄膜的方法，包含：提供一包含有机材料的有孔结构表面，一个或多个孔洞在该有孔结构表面上具有开口；以一超临界流体接触该有孔结构表面，其中该超临界流体包括一溶剂，以溶合该有孔结构表面和所述孔洞的壁面而形成一溶合有机材料；以及相转变该溶合有机材料，以在该有孔结构表面上形成一密度比该有孔结构的密度更高的、且无孔的薄膜，由该薄膜封闭所述孔洞。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 | ||