| 发明名称 | 测量装置和测量方法 | ||
| 摘要 | 根据本发明，提供一种测量装置，包括：测量光源(14)，用于向镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，当所述测量光源(14)发射的测量光(28)从所述镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在所述投射单元(17))；以及图像拾取单元(18)，用于拾取所述投射单元(17)的图像，所述反射光(13)投射在所述投射单元(17)上。本发明能够在短时间内高准确度地测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的偏转特性。 | ||
| 申请公布号 | CN101153821A | 申请公布日期 | 2008.04.02 |
| 申请号 | CN200710103311.0 | 申请日期 | 2007.05.18 |
| 申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 藤原胜美;大场英俊 |
| 分类号 | G01J4/00(2006.01);G02B26/08(2006.01);B81B7/02(2006.01) | 主分类号 | G01J4/00(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张龙哺 |
| 主权项 | 1.一种测量装置(10)，用于测量具有可改变倾斜度的镜平面(11)的镜系统(12)的特性，所述测量装置(10)包括：测量光源(14)，用于向所述镜平面(11)发射测量光(28)；投射单元(17)，当所述测量光源(14)发射的测量光(28)从所述镜平面(11)反射时形成的反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)；以及图像拾取单元(18)，用于拾取所述投射单元(17)的图像，所述反射光(13)投射在所述投射单元(17)上作为投射光点(50)。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||